VGS GRIPPER

공압 혁신 제품인 VGS 웨이퍼그리퍼는 3~5%의 진공도만으로 높은 작업 효율을 가지고 있으며, 신공압 웨이퍼핸드링 기술은 80%를 이용하는 진공패드 기술과 비교하였을때 광웨이퍼 셀보다 신속하고 신뢰할 수 있는 핸드링을 제공 합니다.

진공영역에 있어 그리퍼 바닥에 있는 수많은 진공홀이 있으며, 이 진공홀은 전체적으로 저압의 진공이 발생합니다. 진공력은 전체 표면에 의해 점진적으로 증가되는 압력이므로, 본 제품은 고압에서 작동되는 어떤 환경에서도 높은 성능을 발휘합니다.

웨이퍼를 이송하기위해 높은 압력을 이용하는 대신 넓은 접촉면적을 사용하며, 1초당 1개의 웨이퍼를 핸드링 할 수 있는 최적화된 작업 능력을 자랑합니다. 또한 저압 그리퍼 바닥의 연속된 튜브를 사용하여 발생되고, 이는 매우 빠른 공기순환을 발생시키며, 진공챔버의 공기는 압축공기 흐름에 의해 흡착됩니다.